德國費斯托FESTO壓電閥描述：壓電閥是利用功能陶瓷片在電壓作用下產(chǎn)生彎曲變形原理制成的一種兩位式（或比例式）控制閥?？刂茐弘婇y動(dòng)作只需提供足夠的電壓，電功耗幾乎為零。 壓電閥在E/P轉換單元中起先導閥的作用，每個(gè)E/P轉換單元同時(shí)應用兩個(gè)壓電閥，對于壓電閥由于導壓（即先導腔室中的氣壓力）太小，不具有產(chǎn)生氣流的能力，所以必須增壓。

增壓是在伺服部分完成，它的作用猶如氣動(dòng)繼電器。伺服部分在先導腔室一側有一個(gè)面積較大膜片，在輸出及排氣腔室一側有一個(gè)面積較小的面。當導壓達到120kPa時(shí)，施加在先導腔室一側膜片上的力，大于作用在輸出及排氣腔室另一側面上的力，這將迫使移動(dòng)閥心與排氣閥心移動(dòng)，當兩側面的力達到平衡時(shí)，這樣作用在輸出及排氣腔室一側面上的氣壓將大于導壓，從而達到增壓的目的。其動(dòng)作原理：壓電閥的初始狀態(tài)（不通電），功能陶瓷片作用在噴嘴口1上，這時(shí)，口2與噴嘴口3與先導腔連通，形成為一個(gè)整體。當壓電閥接通電源時(shí)，功能陶瓷片變形向上翹，把噴嘴口3壓住，使得口2與噴嘴口1連通。

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