離子減薄儀為一種在材料科學(xué)領(lǐng)域普遍應用的儀器。離子減薄儀有著(zhù)較快的制樣速度??梢砸?/span>最小的耗費將高質(zhì)量的TEM樣品制備出來(lái)。該儀器可以快捷方便地進(jìn)行操作,低能量離子槍功能為其所配備,對能量敏感性樣品的減薄特別適合。液氮冷臺為其所配備,對溫度敏感性樣品的減薄特別適合。陶瓷、半導體、金屬和合金等多種材料的透射電子顯微鏡( TEM)樣品的制備為該儀器的主要用途。
氬氣的電離采用高壓來(lái)進(jìn)行,在電場(chǎng)是作用下,電離后的氬離子對樣品表面進(jìn)行轟擊。在氬離子的持續轟擊下,樣品慢慢減薄,一直到使透射電鏡觀(guān)察要求滿(mǎn)足,此即為離子減薄儀的工作原理。氬離子拋光儀和離子減薄儀有著(zhù)相同的原理,也是通過(guò)氬離子對樣品表面進(jìn)行轟擊,使得樣品表面變得平整光滑,因此該儀器大體上不需要太多的改變。
離子減薄儀為專(zhuān)門(mén)為透射樣品的制備而設計的儀器(透射電鏡樣品為厚度為幾微米,直徑為三毫米的薄片)。為了使設備工作條件得到滿(mǎn)足。需要預處理掃描電鏡樣品,首先將樣品切割成一毫米厚的薄片,再使用砂紙打磨樣品,在打磨樣品表面的時(shí)候,需要從粗到細地對砂紙進(jìn)行選擇。
透射電鏡樣品具有非常小的尺寸,需要在載片中間的小孔上粘樣品。掃描電鏡觀(guān)察的樣品尺寸要遠遠大于透射樣品。為了使效率提高,樣品一次能夠多放幾個(gè),在樣品臺上用熱熔膠固定,之后所要做的工作就是對包括電壓、氬離子流,樣品傾角、拋光時(shí)間等工作參數進(jìn)行調整。工作電壓和氬離子流的增加能夠使拋光效率有所提高,然而若這兩個(gè)參數過(guò)高,容易損傷樣品。
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